中国光刻机新消息

@西俘6011:光刻机中国能造吗?
冀常17314951878…… 暂时不能光刻机不是一项单一的技术,而是现代各项高科技技术的集成,成品背后需要无数的产业链支持,以中国现在的科技水平暂时还不能造出.当中国专家去荷兰阿斯...

@西俘6011:中国哪家的光刻机功能,性能最好?
冀常17314951878…… 上海微电子装备有限公司的步进式扫描光刻机吧,估计是中国最先进的了.SSA600/20 步进扫描投影光刻机采用0.75数值孔径和四倍缩小倍率的ArF投影物镜、工艺自适应调焦调平技术,以及高速高精的自减振六自由度工件台掩模台技术,实现可用于前道IC制造90nm关键层和非关键层的先进光刻设备.此外,该设备通过采用多种可供选择的先进专利照明技术,并配合其他分辨率增强技术,能够满足客户高于90nm分辨率的生产需求.该设备可用于8寸线或12寸线的大规模工业生产. 本人亲自用过,号称能有90nm分辨率但是实际使用情况看2um还是能达到的.6寸、8寸、12寸都能生产,人际界面良好,效率还算可以,跟国外同类型机器相比故障率稍高.

@西俘6011:中国何时能造出来自己的光刻机? -
冀常17314951878…… 现在世界上顶级的设备毋庸置疑就是ASML的5纳米光刻机.这台机器如果一一拆分开来的话可以装进大约40个集装箱之中,超过100000万个零件的总数量在机器领域绝对算得上是庞然大物.而且这10万个零件之中,精密仪器、顶级光源、超稳定轴承和计量器一个都不少.它们分别来自全球各个国家,包括日本、德国和美国.而其中,美国为光刻机提供的基础零件其实也比较多,正因如此他们才能如此硬气的要求芯片代加工厂商禁止向华为输出产品.

@西俘6011:中车没有光刻机怎么生产芯片
冀常17314951878…… 没有光刻机要生产芯片可以找代工.中车没有光刻机不能生产芯片,但可以找有光刻机的公司代工.中车应用最主要的是igbt车规级芯片,过去是买日本的,14年后株洲中车独立开发了自己的igbt芯片.国内制造igbt芯片最大的是比亚迪,而且中芯国际也是首屈一指的芯片代工厂.

@西俘6011:现在中国最先进芯片工艺是多少纳米 -
冀常17314951878…… 中企最高技术28纳米,而且还是中芯挖的台干带来的技术 芯片工艺最重要的机器是光刻机,目前被欧洲垄断.欧洲有条约禁止向社会主义国家出口类似光刻机的高科技设备

@西俘6011:光刻机是哪个国家生产的?
冀常17314951878…… 在全球高端光刻机市场,荷兰达到全球领先水平,荷兰ASML公司占据着全球80%的市场份额,几乎处于垄断地位.除了荷兰,日本、中国也可以制造光刻机,日本的代表企业是尼康和佳能,中国的代表企业是上海微电子(SMEE).光刻机的品牌众多,根据采用不同技术路线的可以归纳成如下几类:高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种,分辨率通常七纳米至几微米之间,高端光刻机号称世界上最精密的仪器,世界上已有1.2亿美金一台的光刻机.高端光刻机堪称现代光学工业之花,其制造难度之大,全世界只有少数几家公司能够制造.国外品牌主要以荷兰ASML,日本Nikon和日本Canon三大品牌为主.

@西俘6011:国内家公司的光刻机性价比好? -
冀常17314951878…… 现在光刻机品牌挺多,还要看你用于做科研,还是生产,量产的话配置要求高,性价比也不会多高,科研或小规模生产的话,高性价比的有SUSS,NXQ或一些韩国台湾品牌,我接触的一些高校实验室都用NXQ的

@西俘6011:无掩膜光刻,什么是无掩膜光刻 -
冀常17314951878…… 无掩膜光刻是一类不采用光刻掩膜版的光刻技术,即采用电子束直接在硅片上制作出需要的图形.无掩膜光刻机可以读取任何CAD数据,除此之外,无掩膜光刻机还可以读取Bitmap, PNG, DXF, GDSⅡ等其它格式,无掩膜光刻其具备分辨率高、成本较低等优势,但也存在着生产效率低、电子束之间的干扰易造成邻近效应等缺陷.

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