复合真空计说明书

@韦胖6266:复合真空计 - 搜狗百科
生绿17611793134…… 该仪表由2路热偶和一路电离两部分复合而成,适用于实验室和镀膜等行业的生产车间. 主要技术数据: 1、测量范围:热偶部分:1*102~1*10-1Pa 电离部分:1*10-1~1*10-5Pa 2、热偶加热电流:90~150mA,3、加热电流稳定度:±1% 4、发...

@韦胖6266:ZDF - 5202复合真空计的操作说明书 -
生绿17611793134…… 主要技术性能规范 2.1 测量范围 电阻部分观测范围:1.0*105~1.0*10-1 Pa 电阻部分测量范围:3.0*103~1.0*10-1Pa 电离测量部分范围:1.0*10-1~1.0*10-5 Pa 2.2 测量精度 电阻部分:≤±50% 电离部分:≤±5% 2.3 电源 ~220V±22V 50Hz ±1Hz ...

@韦胖6266:振华真空镀膜机复合真空计调正 -
生绿17611793134…… 正华ZDF-X 真空复合计校正调整说明 成真 ZDF-X1.0E 2 Pa 5.0E -2 Pa设定1电阻计单元 设定3设定5电阻2自动电离复合计单元去气 设定2 ZERO ES 设定4设定6ZEROES电源 . . .....

@韦胖6266:振华真空镀膜机复合真空计怎样调正 -
生绿17611793134…… 复合真空计有两个真空规管--电阻规管和电离规管 分别测量 大气---0.1Pa 和 3Pa---1 X 10^-5 Pa 电离规管在出厂时已经标定完成,不可调.由于电阻规管对外界环境比较敏感,在使用前要分别针对大气和真空环境标定 满度和零点 满度的标定:在大气环境和室温条件下,连接好电阻规管,打开真空计.调整满度微调旋钮,让真空计显示 1.0 X 10 5 Pa 然后再在高真空环境下,调整电阻规管的零点微调旋钮,显示 1.0 X 10 ^-1Pa

@韦胖6266:真空镀膜机的复合真空计怎么调零点和满度?
生绿17611793134…… 我 不知道 你说的 镀膜机 是那种 型号 的 ,但是 具体 分析 低真空 抽速慢 有 以下 几点, 第一 罐体 有漏气点, 第二 低真空 泵组 有达不到 功率的泵,第三 真空计 的 零点 ...

@韦胖6266:真空镀膜设备上,复合计和热偶计的区别?以及工作原理? -
生绿17611793134…… 热电偶真空计是利用气体分子的热传导现象,热电偶接在白金或钨的细线上.这段细线通过电流后会发热.发出的热量通过周围气体分子的热传导,或细线本身的固体热传导,或热辐射放出.利用气体分子承担的热传导量与压力成正比的特点是...

@韦胖6266:我们为什么真空镀膜采用复合真空计进行真空度测量 -
生绿17611793134…… 真空规一般分为皮拉尼、热电离规、冷阴极、电容薄膜规等,他们各有各的测量范围,有些测量从大气压到-4Pa,有些测量高真空,但没有一种单一的真空规可以测量全量程的,所以后来真空技术就发展出复合规,将两种或三种类型的规管复合成一个规管,自动切换量程,这就可以满足镀膜工艺上需要测量较大量程范围的要求,同时减少了真空系统的破真空点,保证了整个系统的真空度.

@韦胖6266:真空泵的测量方式 -
生绿17611793134…… 真空泵的测量方式: 1、热偶真空计:利用热电偶的电势与加热元件的温度有关,元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计. 2、电离真空计:由筒状收集极,栅网和位于栅网中心的灯丝构成,筒状收集极在栅网外面.热...

@韦胖6266:FDK - 2A复合真空计通Ar气,通过调控制(JGP500磁控)溅射室的插板阀时,复合真空计显示的数字漂浮不定? -
生绿17611793134…… 磁控靶辉光不稳、插板阀动作时漏气、Ar气流量不稳定、真空室泄露、真空室内污染、外界干扰等都可引起复合真空计显示的数字漂浮不定

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