薄膜硅真空计的作用
@余燕5391：薄膜电容真空计原理是什么? -
于惠15036272465…… 薄膜电容又称CBB电容,它有聚丙烯膜和聚酯膜两种介质分类,聚丙烯膜的特性是高频损耗极低、电容量稳定性很高、负温度系数较小、绝缘电阻极高、介质吸收系数极低、自愈性好、介电强度,如CBB11,CBB13,CBB21,CBB62,CBB81等 电...
@余燕5391：真空泵的测量方式 -
于惠15036272465…… 真空泵的测量方式: 1、热偶真空计:利用热电偶的电势与加热元件的温度有关,元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计. 2、电离真空计:由筒状收集极,栅网和位于栅网中心的灯丝构成,筒状收集极在栅网外面.热...
@余燕5391：单晶硅、多晶硅、非晶硅和薄膜电池的原理? -
于惠15036272465…… 高纯的单晶硅棒是单晶硅太阳电池的原料,硅纯度要求99.999%.单晶硅太阳电池是当前开发得最快的一种太阳电池,它的构和生产工艺已定型,产品已广泛用于空间和地面.为了降低生产成本,现在地面应用的太阳电池等采用太阳能级的单晶...
@余燕5391：我们为什么真空镀膜采用复合真空计进行真空度测量 -
于惠15036272465…… 真空规一般分为皮拉尼、热电离规、冷阴极、电容薄膜规等,他们各有各的测量范围,有些测量从大气压到-4Pa,有些测量高真空,但没有一种单一的真空规可以测量全量程的,所以后来真空技术就发展出复合规,将两种或三种类型的规管复合成一个规管,自动切换量程,这就可以满足镀膜工艺上需要测量较大量程范围的要求,同时减少了真空系统的破真空点,保证了整个系统的真空度.
@余燕5391：真空镀膜机的原理 -
于惠15036272465…… 说来话长,简单点的话就是:阴极被激发的电子在电场作用下加速飞向衬底基片的过程中与氩原子发生碰撞,电离出大量的氩离子和二次电子,二次电子飞向衬底基片.氩离子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉积在衬底上形成薄膜.二次电子在加速飞向衬底的过程中受到磁场洛仑磁力的影响,被束缚在靠近靶面的等离子体区域内,该区域内等离子体密度很高,二次电子在磁场的作用下围绕靶面做圆周运动,该电子的运动路径很长,在运动过程中不断地与氩原子发生碰撞电离出大量的氩离子轰击靶材,经过多次碰撞后二次电子的能量逐渐降低,摆脱磁力线的束缚,远离靶材, 最终沉积在衬底上
@余燕5391：为什么叫“电离规”,“电阻规”,“冷规”,“薄膜计”“规”是啥意思?“薄膜计”的名字是怎么来的?它们的测试量程分别是多少? - 作业帮
于惠15036272465…… [答案] “电离规”,“电阻规”,“冷规”,“薄膜计”都是测量真空度用的传感器.热阴极电离规中,热阴极发射的电子被栅极加速,荷能电子与气相中的气体分子发生碰撞使气体分子产生电离,离子被相对于阴极和栅极为负偏压的收集极接收,收集极上接收...
@余燕5391：热偶真空计的作用 -
于惠15036272465…… 热偶真空计的作用当然是用来测量真空度的,测量范围从1000Pa-1Pa,优点是价格便宜结构简单,缺点是反应较慢,测量范围窄.
@余燕5391：请教大虾~~为什么叫“电离规”,“电阻规”,“冷规”,“薄膜计” -
于惠15036272465…… “电离规”,“电阻规”,“冷规”,“薄膜计”都是测量真空度用的传感器.热阴极电离规中, 热阴极发射的电子被栅极加速, 荷能电子与气相中的气体分子发生碰撞使气体分子产生电离, 离子被相对于阴极和栅极为负偏压的收集极接收, 收集...
@余燕5391：真空度对真空镀膜的影响? -
于惠15036272465…… 真空度高,则真空镀膜质量较好. 各种镀膜技术都需要有一个蒸发源或靶子,以便把蒸发制膜的材料转化成气体.由于源或靶的不断改进,大大扩大了制膜材料的选用范围,无论是金属、金属合金、金属间化合物、陶瓷或有机物质,都可以蒸镀...
@余燕5391：测量薄膜厚度的仪器有哪些? -
于惠15036272465…… Delta薄膜厚度测量系统利用薄膜干涉光学原理,对薄膜进行厚度测量及分析.用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面,探头同位接收反射光线.Delta根据反射回来的干涉光,用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度.测量范围1nm-3mm,可同时完成多层膜厚的测试.对于100nm以上的薄膜,还可以测量n和k值.
于惠15036272465…… 薄膜电容又称CBB电容,它有聚丙烯膜和聚酯膜两种介质分类,聚丙烯膜的特性是高频损耗极低、电容量稳定性很高、负温度系数较小、绝缘电阻极高、介质吸收系数极低、自愈性好、介电强度,如CBB11,CBB13,CBB21,CBB62,CBB81等 电...
@余燕5391：真空泵的测量方式 -
于惠15036272465…… 真空泵的测量方式: 1、热偶真空计:利用热电偶的电势与加热元件的温度有关,元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计. 2、电离真空计:由筒状收集极,栅网和位于栅网中心的灯丝构成,筒状收集极在栅网外面.热...
@余燕5391：单晶硅、多晶硅、非晶硅和薄膜电池的原理? -
于惠15036272465…… 高纯的单晶硅棒是单晶硅太阳电池的原料,硅纯度要求99.999%.单晶硅太阳电池是当前开发得最快的一种太阳电池,它的构和生产工艺已定型,产品已广泛用于空间和地面.为了降低生产成本,现在地面应用的太阳电池等采用太阳能级的单晶...
@余燕5391：我们为什么真空镀膜采用复合真空计进行真空度测量 -
于惠15036272465…… 真空规一般分为皮拉尼、热电离规、冷阴极、电容薄膜规等,他们各有各的测量范围,有些测量从大气压到-4Pa,有些测量高真空,但没有一种单一的真空规可以测量全量程的,所以后来真空技术就发展出复合规,将两种或三种类型的规管复合成一个规管,自动切换量程,这就可以满足镀膜工艺上需要测量较大量程范围的要求,同时减少了真空系统的破真空点,保证了整个系统的真空度.
@余燕5391：真空镀膜机的原理 -
于惠15036272465…… 说来话长,简单点的话就是:阴极被激发的电子在电场作用下加速飞向衬底基片的过程中与氩原子发生碰撞,电离出大量的氩离子和二次电子,二次电子飞向衬底基片.氩离子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉积在衬底上形成薄膜.二次电子在加速飞向衬底的过程中受到磁场洛仑磁力的影响,被束缚在靠近靶面的等离子体区域内,该区域内等离子体密度很高,二次电子在磁场的作用下围绕靶面做圆周运动,该电子的运动路径很长,在运动过程中不断地与氩原子发生碰撞电离出大量的氩离子轰击靶材,经过多次碰撞后二次电子的能量逐渐降低,摆脱磁力线的束缚,远离靶材, 最终沉积在衬底上
@余燕5391：为什么叫“电离规”,“电阻规”,“冷规”,“薄膜计”“规”是啥意思?“薄膜计”的名字是怎么来的?它们的测试量程分别是多少? - 作业帮
于惠15036272465…… [答案] “电离规”,“电阻规”,“冷规”,“薄膜计”都是测量真空度用的传感器.热阴极电离规中,热阴极发射的电子被栅极加速,荷能电子与气相中的气体分子发生碰撞使气体分子产生电离,离子被相对于阴极和栅极为负偏压的收集极接收,收集极上接收...
@余燕5391：热偶真空计的作用 -
于惠15036272465…… 热偶真空计的作用当然是用来测量真空度的,测量范围从1000Pa-1Pa,优点是价格便宜结构简单,缺点是反应较慢,测量范围窄.
@余燕5391：请教大虾~~为什么叫“电离规”,“电阻规”,“冷规”,“薄膜计” -
于惠15036272465…… “电离规”,“电阻规”,“冷规”,“薄膜计”都是测量真空度用的传感器.热阴极电离规中, 热阴极发射的电子被栅极加速, 荷能电子与气相中的气体分子发生碰撞使气体分子产生电离, 离子被相对于阴极和栅极为负偏压的收集极接收, 收集...
@余燕5391：真空度对真空镀膜的影响? -
于惠15036272465…… 真空度高,则真空镀膜质量较好. 各种镀膜技术都需要有一个蒸发源或靶子,以便把蒸发制膜的材料转化成气体.由于源或靶的不断改进,大大扩大了制膜材料的选用范围,无论是金属、金属合金、金属间化合物、陶瓷或有机物质,都可以蒸镀...
@余燕5391：测量薄膜厚度的仪器有哪些? -
于惠15036272465…… Delta薄膜厚度测量系统利用薄膜干涉光学原理,对薄膜进行厚度测量及分析.用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面,探头同位接收反射光线.Delta根据反射回来的干涉光,用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度.测量范围1nm-3mm,可同时完成多层膜厚的测试.对于100nm以上的薄膜,还可以测量n和k值.
