pecvd镀膜的主要设备

@盖疮2411:做PECVD员工要掌握哪些技能知识 -
赖钥18434448747…… 太阳能电池工艺简介及厂房建设总结 我公司从02年开始,先后承接过目前国内太阳能电池行业主流公司的一系列项目(从硅片制造到组件生产),通过完成这些项目的设计、施工和二次配,我公司无疑已成为业内承接太阳能电池生产厂房的最...

@盖疮2411:请问薄膜太阳能电池用的镀膜(PECVD)设备是什么? -
赖钥18434448747…… PECVD= Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 等离子体辅助化学气相沉积 我们公司就是做这个的.

@盖疮2411:真空镀膜所需的原料是什么?以及镀膜前必须进行的准备工作又是什么? -
赖钥18434448747…… 做真空镀膜有几年了,原料油铬、硅、钛、金,镀膜前看你是流水线,还是真空腔体操作,如果是真空腔操作的,你要先放进膜料和基片,然后排气,按照工艺要求,到指定真空度开动镀膜机,就好了,我因为刚辞职了,不能帮你太多了,不好意思!

@盖疮2411:铜铟镓硒薄膜太阳能电池的生产有哪些设备?求全面,具体! -
赖钥18434448747…… 目前国内准备生产铜铟镓硒薄膜太阳能电池的厂家主要采用两种工艺路线方法,一种是磁控溅射,另一种是溶液法,两种不同的工艺需要的设备是不一样的.其中溶液法用到的是PECVD设备,磁控溅射需要的是真空连续镀膜生产线设备.具体可以和相关设备厂家联系了解.

@盖疮2411:管式PECVD的设备构造是什么样子的? -
赖钥18434448747…… 管式PECVD是一种低温下高质量淀积减反射膜装置,其构造大体与扩散炉相当,主要有推舟机构、反应炉管、气路系统和真空系统,但技术复杂得多.可控对象除温度和气氛外还有等离子场、压力等.由于工艺调节较平板式灵活,成膜质量更高,现在越来越多地用于大线.

@盖疮2411:京东方array设备有哪些 -
赖钥18434448747…… 镀膜有两种设备,PECVD和Sputter,曝光有曝光机,、清洗机、显影机,刻蚀有,干刻和湿刻,剥离,最多的是清洗和检查设备

@盖疮2411:关于太阳能电池板生产工艺和设备的一些问题 -
赖钥18434448747…… 我将尝试尽我所能的一一解答以上各个问题: 1、“扩散炉”顾名思义就是用来扩散的炉子,在晶体硅太阳能电池的生产制造行业中,自然是用于对硅基片的扩散掺杂,制备P-N结结构.至于硅片的热氧化,只不过是扩散掺杂技术工艺的一个中间过程,是为了提高扩散工艺的稳定性和均匀性而设计的.但是一般氧化层厚度极薄,与半导体晶圆工艺制程中的氧化完全不同,因此这里经过热氧化的硅片只是中间的一个状态,一般并不单独作为一个工艺单元. 2、“炉管”即“TUBE”,显然只有管式炉才有炉管只称谓,板式则称为“腔”.除了扩散炉,PECVD也有管式设备,基本上和扩散炉的炉管是同一个概念. ——另外,国产PECVD以管式居多.

@盖疮2411:晶体硅太阳电池制备的基本工艺? -
赖钥18434448747…… 太阳能电池片的生产工艺流程 分为硅片检测——表面制绒——扩散制结——去磷硅玻璃——等离子刻蚀——镀减反射膜——丝网印刷——快速烧结等.具体介绍如下: 一、硅片检测 硅片是太阳能电池片的载体,硅片质量的好坏直接决定了太阳...

@盖疮2411:led芯片制造流程中使用的设备 -
赖钥18434448747…… 上游所需设备:MOCVD ICP刻蚀机,光刻机,PECVD 中游所需设备:ICP刻蚀机,光刻机,蒸发台,溅射台,激光划片机 下游所需设备:固晶机,焊线机等.

@盖疮2411:太阳能PECVD设备供应商,设备型号、价格,帮忙找一些世界上比较强的公司,如果可以写一些优缺点 -
赖钥18434448747…… 国内主要两家厂,北京创世威纳,沈阳北科仪,沈阳还有一家是从北科仪分出来的,名字忘了,你网上查查电话,自己打过去问吧.如果要买他们态度应该是很好的.产品各有千秋,沈阳的好些.国外的质量更稳定,但是我就不了解了,而且价格也是十倍以上.水太深了.

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